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碳化硅(gui)冶煉工藝摘要:碳化硅(gui)的冶煉方法合成碳化硅(gui)所用(yong)的原(yuan)料主要是以SiO2為主要成分的脈石英或石英砂(sha)與以C為主要成分的石油焦(jiao),低檔次的碳化硅(gui)可用(yong)地灰(hui)分的無煙煤為。
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[摘要(yao)]本發(fa)明(ming)公(gong)開了一種制備碳化硅(gui)單(dan)晶(jing)的方法,其能快速(su)、穩定和連續地(di)生長高質(zhi)(zhi)量(liang)碳化硅(gui)單(dan)晶(jing),并(bing)既能增加塊(kuai)狀單(dan)晶(jing)尺寸又能提高薄膜單(dan)晶(jing)質(zhi)(zhi)量(liang),該方法包(bao)括(kuo):從底部(bu)按順序。
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