MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)方面(mian),論文采用上(shang)述模型分(fen)(fen)析了四分(fen)(fen)之一(yi)波長布拉(la)格(ge)反(fan)射柵對其(qi)諧振(zhen)(zhen)特(te)性(xing)(xing)的影響,得到(dao)了SMR器(qi)件獲(huo)得理(li)想性(xing)(xing)能所需(xu)的少反(fan)射柵對數;另(ling)外,考(kao)慮(lv)到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電(dian)層(ceng)的典型厚度(du)在幾個微米或壓(ya)力場看起來與(單晶的)石英模式的石英這(zhe)種(zhong)類型的BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝配(pei)型諧振(zhen)器(SMR)的模擬(ni)分(fen)析湯亮(liang)郝震宏喬東海汪承灝摘要:正1引(yin)言近年來,薄膜體(ti)聲波諧振(zhen)器(FBAR)由(you)于(yu)其較小的體(ti)積以及可與IC電路進(jin)行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成的(de)諧振器(qi)是(shi)固態裝配諧振器(qi)(SMR)。在一(yi)個實施例中,襯底12由(you)硅(Si)制(zhi)成,PZ層18由(you)氮化鋁(AlN)制(zhi)成。或(huo)者,也可(ke)以使用其他的(de)壓電材料來(lai)制(zhi)作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)(de)(de)高性能射頻(pin)濾波(bo)器:體聲波(bo)濾波(bo)器BAW第2頁(ye)(ye)/共6頁(ye)(ye)<上(shang)一(yi)頁(ye)(ye)下這種類型的(de)(de)(de)BAW被(bei)稱為(wei)固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性而言,SMR比(bi)膜結構的(de)(de)(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的(de)(de)BAW被稱為固(gu)態(tai)裝配諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比膜結構(gou)的(de)(de)BAW要好(hao)很(hen)多。在劃片和裝配所需的(de)(de)各(ge)種標準工(gong)序中,沒有機械損壞的(de)(de)風險。壓(ya)電(dian)層和電(dian)極層上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)膜結(jie)構(gou)或(huo)一并(bing)沉(chen)積到一個薄的(de)支撐膜上,形(xing)(xing)成(cheng)空氣一固體交界面(mian);還有一種方式是采用“聲波鏡”形(xing)(xing)成(cheng)反射面(mian)來實現,這(zhe)種結(jie)構(gou)被稱為“固態(tai)裝配諧振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛(qian)溶膠凝膠諧振器(qi)建立微型(xing)體聲波(bo)諧振器(qi)機械結構的等效電(dian)路模型(xing),運用(yong)PSPICE軟(ruan)件(jian)研(yan)究(jiu)4湯(tang)亮;郝震宏(hong);喬東海(hai);汪(wang)承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電薄膜諧(xie)振(zhen)器可以(yi)分類為FBAR(膜體聲諧(xie)振(zhen)器)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)波(bo)(bo)器(qi)(qi)件的(de)示例為諸如FBAR(膜(mo)(mo)體聲(sheng)波(bo)(bo)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi))的(de)薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧(xie)振器(10;110;和210)包括少部(bu)分地補償(chang)通過電極壓電疊層(18)引入(ru)的溫(wen)度感應(ying)效應(ying)的鐵(tie)磁補償(chang)器(20;120;和220)。該補償(chang)器具有正頻率溫(wen)度系數,而疊層具有負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)的(de)濾(lv)波器(qi)也受到關(guan)注。[0003]壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)的(de)例子包括FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)分為兩種(zhong)類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi))。FBAR包括層疊在諸(zhu)如(ru)硅或玻璃(li)的(de)基板上(shang)的(de)上(shang)電極膜(mo)(mo)、壓電膜(mo)(mo)和下電極膜(mo)(mo)的(de)層疊結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含(han)這些壓電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)的濾波器(qi)也受到關注。壓電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)的例(li)子包(bao)括(kuo)FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值得一提(ti)的是(shi),德(de)國的Infneon公司在2003年(nian)推出了(le)具有布拉格反射層結(jie)構的固貼式(又稱固態裝(zhuang)配型(xing))薄膜體聲波(bo)諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于(yu)。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)(tai)引信(xin)諧振器(qi)是電子安(an)全系統的重要組成部(bu)分之(zhi)一,它能在后(hou)坐加速度和旋轉離心力(li)的作(zuo)用下向前運(yun)動(dong),使(shi)限位保(bao)險(xian)處于(yu)鎖(suo)定狀(zhuang)態(tai)(tai),從而使(shi)引信(xin)處于(yu)待發(fa)狀(zhuang)態(tai)(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平面(mian)(mian)振蕩(dang)器(qi)基片集(ji)成波(bo)(bo)(bo)導相位噪聲雙(shuang)端口壓控振蕩(dang)器(qi)注入鎖定諧波(bo)(bo)(bo)振蕩(dang)器(qi)毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平面(mian)(mian)振蕩(dang)器(qi)是毫(hao)米(mi)波(bo)(bo)(bo)平面(mian)(mian)集(ji)成系統ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧(xie)振器(10;110;和210)包括少(shao)部分地補(bu)償通過電極壓電疊層(ceng)(18)引入的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁(ci)補(bu)償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵(jian)詞:微波濾(lv)波器(qi)時(shi)域有限差分(fen)法階梯阻抗(kang)諧(xie)振器(qi)橢圓函數濾(lv)波器(qi)多層6湯亮;郝震宏;喬東海(hai);汪承灝;;ZnO固態裝配(pei)型諧(xie)振器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧振器(qi)的(de)工(gong)作頻率高、功率容(rong)量大、損耗低、體積小,是目前有望第三種(zhong)為本研究采用反(fan)射層聲學(xue)隔離固定(ding)結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)方面(mian),論文采(cai)用上述模型分析了四分之一(yi)波長布拉格反射柵對(dui)其諧(xie)(xie)振(zhen)特(te)性(xing)的影響,得(de)到了SMR器(qi)(qi)件獲得(de)理想性(xing)能所需的少反射柵對(dui)數;另外,考慮到實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣(yang)形成的諧振(zhen)器(qi)是固態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實(shi)施(shi)例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字(zi)報利用無線傳感器網絡實現運(yun)動聲源的定位與跟蹤錄取,報告(gao)用相對(dui)運(yun)動幾何(he)求解BOT問題ZnO固態裝配型諧(xie)振器(SMR)的模(mo)擬分(fen)析PGC解調光纖傳聲器技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將(jiang)上述壓電(dian)(dian)薄膜諧(xie)振器(qi)分(fen)為兩種類(lei)型(xing),FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi))。FBAR包括層疊(die)在諸如硅(gui)或玻(bo)璃(li)的(de)基板上的(de)上電(dian)(dian)極(ji)膜、壓電(dian)(dian)膜和下電(dian)(dian)極(ji)膜的(de)層疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月(yue)31日(ri)-壓電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳(chuan)感器是混合型諧振無源諧振結構,其(qi)可以(yi)在制造(zao)過程(cheng)中(zhong)被集成于車輛地面連(lian)接裝置(zhi)HBAR“高模薄(bo)膜體聲波諧振器”),或(huo)者帶有布拉(la)格(ge)反射鏡(SMR“固態裝配型諧振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳(chuan)感(gan)器(qi)是混合型諧振(zhen)(zhen)無源諧振(zhen)(zhen)結構,其(qi)可以在制造過程中(zhong)被集(ji)成于(yu)車(che)輛地(di)面連接裝置HBAR"高模薄膜體聲(sheng)波(bo)諧振(zhen)(zhen)器(qi)"),或者(zhe)帶有布拉格反射鏡(SMR"固態(tai)裝配型諧振(zhen)(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)(xie)振器包括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是(shi)薄膜體(ti)聲波諧(xie)(xie)振器(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫,以及SMR是(shi)固態安裝諧(xie)(xie)振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)分(fen)為兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固(gu)態(tai)裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)可(ke)分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固態(tai)裝配諧振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部電(dian)極、壓(ya)電(dian)膜(mo)和下部電(dian)極構成(cheng)的(de)。