MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(SMR)方面,論文(wen)采(cai)用上述模型分析(xi)了四分之一波(bo)長布拉(la)格反射柵對(dui)(dui)其諧振(zhen)特性的影響,得到了SMR器件獲得理想性能所需的少反射柵對(dui)(dui)數(shu);另外,考慮(lv)到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層(ceng)的典型厚度(du)在幾個微米或壓力場看起來與(單晶的)石英模式的石英這(zhe)種類型的BAW被稱為固態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振器(qi)(SMR)的模擬(ni)分(fen)析(xi)湯亮(liang)郝(hao)震宏喬東海汪承灝摘要:正1引言近年來(lai),薄膜體聲波(bo)諧(xie)振器(qi)(FBAR)由于其較小的體積(ji)以及可與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成(cheng)的諧振器是固態裝配諧振器(SMR)。在一(yi)(yi)個實施(shi)例(li)中,襯底12由(you)硅(Si)制成(cheng),PZ層18由(you)氮(dan)化鋁(lv)(AlN)制成(cheng)。或者,也可(ke)以使用其他的壓電材料來制作PZ層18。在一(yi)(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高(gao)性能射頻濾(lv)波(bo)器(qi):體聲(sheng)波(bo)濾(lv)波(bo)器(qi)BAW第2頁/共6頁<上一頁下(xia)這(zhe)種類型(xing)的BAW被稱為固(gu)態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒性而(er)言,SMR比膜結構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的(de)BAW被稱為固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。魯(lu)棒(bang)性而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好很多。在(zai)劃片和裝配所需的(de)各種(zhong)標(biao)準工序中(zhong),沒有(you)機械(xie)損壞的(de)風險。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和(he)電極做成膜結構或一并沉積(ji)到一個薄(bo)的支撐膜上,形成空(kong)氣一固(gu)體交界面(mian);還有一種方式是采用(yong)“聲波鏡”形成反射面(mian)來實現,這(zhe)種結構被稱為“固(gu)態裝配諧振(zhen)器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯(gao)鈦酸(suan)鉛溶膠凝膠諧(xie)振器建立(li)微型(xing)(xing)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器機械(xie)結構的(de)等效電(dian)路模型(xing)(xing),運用PSPICE軟件研究4湯(tang)亮;郝震宏(hong);喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態裝配型(xing)(xing)諧(xie)振器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振器(qi)可以分類為FBAR(膜體聲(sheng)諧振器(qi))型和SMR(固態裝配諧振器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)(qi)件的(de)示例為諸如(ru)FBAR(膜體聲波諧振(zhen)器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi))的(de)薄膜諧振(zhen)器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括少(shao)部分地(di)補償通過電極壓電疊(die)層(18)引入的溫度(du)感應效應的鐵磁補償器(20;120;和220)。該補償器具有正頻率溫度(du)系數,而疊(die)層具有負。
BAW_百度文庫
包含這些壓(ya)電薄(bo)(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)(qi)的濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)也受到關注。[0003]壓(ya)電薄(bo)(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)(qi)的例子包括(kuo)FBAR(薄(bo)(bo)膜(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)(shang)述壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊(die)在諸如硅或玻璃的基板上(shang)(shang)的上(shang)(shang)電(dian)極(ji)膜、壓電(dian)膜和(he)下電(dian)極(ji)膜的層疊(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓(ya)電薄(bo)膜諧振器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受(shou)到關(guan)注。壓(ya)電薄(bo)膜諧振器(qi)的例子包(bao)括FBAR(薄(bo)膜腔聲(sheng)諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的是,德國(guo)的Infneon公(gong)司在2003年推出了具有布拉格(ge)反(fan)射層結構的固貼式(又稱固態裝配(pei)型)薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態引信(xin)諧振(zhen)器是電(dian)子安全系統(tong)的重(zhong)要(yao)組成部分之一,它能在后坐加(jia)速度和旋(xuan)轉離心力的作用(yong)下向前運動,使(shi)限位保(bao)險處(chu)于鎖定狀(zhuang)態,從而使(shi)引信(xin)處(chu)于待發(fa)狀(zhuang)態。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)(mi)波(bo)平面(mian)(mian)振(zhen)蕩器(qi)(qi)基片集成(cheng)波(bo)導(dao)相位噪(zao)聲雙端口壓控振(zhen)蕩器(qi)(qi)注入鎖(suo)定諧(xie)波(bo)振(zhen)蕩器(qi)(qi)毫米(mi)(mi)波(bo)平面(mian)(mian)振(zhen)蕩器(qi)(qi)是(shi)毫米(mi)(mi)波(bo)平面(mian)(mian)集成(cheng)系統ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包(bao)括少部(bu)分地補償(chang)通(tong)過電極壓電疊層(18)引入的(de)(de)溫度感應效應的(de)(de)鐵磁補償(chang)器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微(wei)波濾波器時域有限差分法階梯阻抗諧(xie)振(zhen)器橢圓(yuan)函數(shu)濾波器多層6湯亮;郝震(zhen)宏;喬東海;汪(wang)承灝;;ZnO固態(tai)裝(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的(de)模擬分析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧振(zhen)器的(de)工作(zuo)頻率(lv)高、功率(lv)容(rong)量大、損耗(hao)低、體(ti)積小,是目前有望第三種(zhong)為本研究采用反射層聲(sheng)學隔離固(gu)定結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖(tu)l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面,論文采用上述模型分析了(le)四分之一波長布拉格反射柵對(dui)其諧振特性的(de)影(ying)響,得到(dao)了(le)SMR器(qi)件(jian)獲得理想性能所(suo)需的(de)少反射柵對(dui)數(shu);另外(wai),考慮到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧(xie)振器(qi)是(shi)固態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中(zhong),襯底12由硅(gui)(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字報(bao)利用無線傳(chuan)感器(qi)網絡實現運動聲源的(de)定位與(yu)跟蹤錄取,報(bao)告用相(xiang)對運動幾何(he)求解(jie)BOT問題ZnO固態(tai)裝配型諧(xie)振器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分析PGC解(jie)調(diao)光纖(xian)傳(chuan)聲器(qi)技術的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)分為兩種類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi))。FBAR包括層疊在諸如(ru)硅或(huo)玻璃的(de)基(ji)板(ban)上(shang)的(de)上(shang)電(dian)極膜(mo)、壓電(dian)膜(mo)和下電(dian)極膜(mo)的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓(ya)電薄膜諧(xie)振(zhen)器可(ke)分成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲波諧(xie)振(zhen)器)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳(chuan)感器是混(hun)合(he)型諧振無源諧振結(jie)構,其(qi)可以(yi)在制造過(guo)程中被集成于車輛(liang)地面(mian)連接裝(zhuang)(zhuang)置HBAR“高模(mo)薄膜體聲(sheng)波(bo)諧振器”),或(huo)者(zhe)帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR“固態裝(zhuang)(zhuang)配型諧振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是(shi)混(hun)合(he)型諧振無源諧振結構(gou),其可以在制造過程中(zhong)被(bei)集成(cheng)于車(che)輛地面連接裝置(zhi)HBAR"高模薄膜體聲波諧振器(qi)"),或(huo)者帶有布拉格(ge)反射鏡(SMR"固態裝配(pei)型諧振器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器包括FBAR型(xing)和(he)SMR型(xing),其中FBAR是薄(bo)膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝(zhuang)諧(xie)振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將(jiang)上述壓電薄(bo)(bo)膜諧(xie)振器(qi)分為兩(liang)種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄(bo)(bo)膜腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器可分成FBAR(薄膜塊(kuai)體聲波諧(xie)振(zhen)器)型和(he)SMR(固態(tai)裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有(you)由上部電極、壓電膜和(he)下部電極構成的(de)。