MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振(zhen)器(SMR)方面(mian),論文采(cai)用上述模型(xing)分析了四(si)分之一(yi)波長布拉格反射柵對其(qi)諧振(zhen)特(te)性的影響,得到(dao)了SMR器件獲得理想性能所需的少反射柵對數;另外,考慮到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電(dian)層(ceng)的典型(xing)厚度在幾個微米或壓(ya)力場看起來與(單晶的)石英(ying)模式的石英(ying)這種(zhong)類(lei)型(xing)的BAW被稱為固(gu)態(tai)裝(zhuang)配諧振器(qi)(SMR)。魯棒性而言(yan),,則可減(jian)少諧振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)(xie)振器(SMR)的模(mo)擬分析(xi)湯亮(liang)郝震宏喬(qiao)東海(hai)汪承灝摘要:正1引言(yan)近(jin)年來,薄膜(mo)體聲波諧(xie)(xie)振器(FBAR)由于其較小的體積以及可與IC電路進行單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣(yang)形成(cheng)的諧(xie)振(zhen)(zhen)器是固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)。在一個實施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化(hua)鋁(AlN)制成(cheng)。或者(zhe),也可以使用其他的壓(ya)電材料(liao)來制作PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工(gong)藝的高性能射頻濾(lv)波器(qi):體聲波濾(lv)波器(qi)BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上(shang)一頁(ye)下這種類型(xing)的BAW被稱為固態裝配諧振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類(lei)型(xing)的BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言(yan),SMR比膜結構的BAW要好很多(duo)。在劃片和裝配所需(xu)的各種(zhong)標準工序中(zhong),沒有(you)機(ji)械(xie)損(sun)壞的風險。壓電層(ceng)和電極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)膜結構或一(yi)并(bing)沉積到(dao)一(yi)個薄的支撐膜上(shang),形成(cheng)空氣(qi)一(yi)固體(ti)交界面;還有(you)一(yi)種(zhong)方式是采(cai)用“聲波鏡”形成(cheng)反(fan)射面來實現,這(zhe)種(zhong)結構被稱為“固態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛(qian)溶膠(jiao)凝膠(jiao)諧(xie)振(zhen)(zhen)器建(jian)立(li)微(wei)型體聲波諧(xie)振(zhen)(zhen)器機械結構的等效(xiao)電路模型,運(yun)用PSPICE軟(ruan)件研究(jiu)4湯亮;郝(hao)震宏(hong);喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固態裝配(pei)型諧(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)可以分(fen)類(lei)為FBAR(膜體聲(sheng)諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波(bo)器(qi)(qi)件的(de)示例為諸如FBAR(膜體聲波(bo)諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi))的(de)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和210)包括(kuo)少部(bu)分地補(bu)償(chang)通過電極壓(ya)電疊(die)層(18)引入的(de)溫(wen)度感應(ying)效應(ying)的(de)鐵磁補(bu)償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該補(bu)償(chang)器(qi)具有正頻率溫(wen)度系數,而(er)疊(die)層具有負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)(qi)的(de)濾(lv)波器(qi)(qi)也受到(dao)關注。[0003]壓電(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)(qi)的(de)例(li)子包括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和(he)SMR(固態裝(zhuang)配諧振器(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔(qiang)聲(sheng)諧振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊(die)(die)在諸如硅或(huo)玻璃的(de)基板上的(de)上電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)下(xia)電極膜(mo)的(de)層疊(die)(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這(zhe)些壓電(dian)薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)的濾(lv)波(bo)器(qi)也受(shou)到關(guan)注。壓電(dian)薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)的例(li)子(zi)包括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值(zhi)得(de)一提的(de)是,德國的(de)Infneon公(gong)司在2003年推(tui)出了具有布(bu)拉(la)格(ge)反射(she)層結構(gou)的(de)固貼式(shi)(又稱固態裝配型)薄膜體聲波諧(xie)振器(SMR-FBAR)[9-10].而(er)我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言(yan)固態引(yin)信諧振器是(shi)電子(zi)安全系統的重要組成(cheng)部分之一,它能在后坐加(jia)速度和旋(xuan)轉離(li)心力(li)的作用下向(xiang)前運動,使限位(wei)保險處于鎖定狀態,從而使引(yin)信處于待發狀態。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)(mi)波平(ping)面振(zhen)蕩器(qi)基(ji)片(pian)集成波導相位噪聲雙端口壓(ya)控(kong)振(zhen)蕩器(qi)注入(ru)鎖定諧波振(zhen)蕩器(qi)毫米(mi)(mi)波平(ping)面振(zhen)蕩器(qi)是毫米(mi)(mi)波平(ping)面集成系統ZnO固態裝(zhuang)配(pei)型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和(he)(he)210)包括(kuo)少部分地補償通過電極壓(ya)電疊層(ceng)(18)引入(ru)的溫(wen)度感應效應的鐵(tie)磁(ci)補償器(qi)(20;120;和(he)(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾(lv)波器(qi)時(shi)域有限差分(fen)法(fa)階梯阻抗諧振(zhen)(zhen)器(qi)橢圓函數濾(lv)波器(qi)多層6湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分(fen)析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固(gu)態微型諧振(zhen)器的工作頻率高、功率容量大、損耗低(di)、體積小,是目(mu)前有望第三(san)種為本研(yan)究采用反射層聲學隔離固(gu)定結構(gou)(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方面,論文采用上(shang)述模(mo)型(xing)分(fen)析了四分(fen)之一波長布拉格反射柵對其諧振特性的(de)影響,得(de)到了SMR器件獲(huo)得(de)理想(xiang)性能所需的(de)少反射柵對數;另外,考慮到實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成(cheng)的諧振(zhen)(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一(yi)個實施例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用(yong)無線(xian)傳感器(qi)(qi)網絡實現(xian)運動(dong)聲源(yuan)的(de)(de)定位與(yu)跟(gen)蹤(zong)錄(lu)取,報告用(yong)相對運動(dong)幾何求解BOT問(wen)題ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的(de)(de)模擬分析PGC解調光纖傳聲器(qi)(qi)技術的(de)(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器分為(wei)兩(liang)種類型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層(ceng)疊(die)在諸如硅(gui)或(huo)玻璃的(de)基板上的(de)上電極膜(mo)、壓(ya)電膜(mo)和下電極膜(mo)的(de)層(ceng)疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄(bo)(bo)膜諧(xie)振(zhen)器可分成FBAR(薄(bo)(bo)膜塊(kuai)體聲波諧(xie)振(zhen)器)型(xing)和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳(chuan)感器是(shi)混合型諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)無源(yuan)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)結構,其可(ke)以在制(zhi)造過程(cheng)中被集成于車輛地面連(lian)接裝置(zhi)HBAR“高(gao)模薄膜體聲波諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器”),或者帶有布拉格反射鏡(SMR“固態裝配型諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該(gai)傳(chuan)感器是混合型諧(xie)(xie)振(zhen)無源諧(xie)(xie)振(zhen)結構,其可以在制造過程中(zhong)被集成于車輛(liang)地面連(lian)接裝(zhuang)置(zhi)HBAR"高模薄膜體聲(sheng)波諧(xie)(xie)振(zhen)器"),或者(zhe)帶有布拉格反射鏡(SMR"固(gu)態裝(zhuang)配型諧(xie)(xie)振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)包括FBAR型(xing)(xing)和SMR型(xing)(xing),其中FBAR是薄膜(mo)體聲波諧振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝諧振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月(yue)5日(ri)-將上(shang)述壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器分為兩種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振(zhen)器)和(he)SMR(固(gu)態裝(zhuang)配諧振(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄膜(mo)諧振(zhen)器可(ke)分成FBAR(薄膜(mo)塊(kuai)體聲波(bo)諧振(zhen)器)型和SMR(固(gu)態裝配(pei)諧振(zhen)器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由(you)上部(bu)電極、壓電膜(mo)和下部(bu)電極構(gou)成的。