MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)方面,論文采用(yong)上述模(mo)型分析了四分之一(yi)波(bo)長布拉格(ge)反射柵(zha)對其諧振(zhen)特性(xing)的影(ying)響,得到了SMR器件獲(huo)得理想性(xing)能所(suo)需(xu)的少反射柵(zha)對數;另(ling)外,考慮(lv)到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電(dian)層的典型厚(hou)度在幾個微(wei)米或壓力場(chang)看(kan)起(qi)來與(yu)(單晶的)石(shi)英模式的石(shi)英這種(zhong)類型的BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而(er)言,,則(ze)可減(jian)少(shao)諧(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)的(de)模擬分析湯(tang)亮郝震宏喬東海汪承灝摘要:正1引(yin)言近(jin)年來,薄膜體聲波(bo)諧振(zhen)器(FBAR)由于其較小(xiao)的(de)體積以及可與(yu)IC電路進(jin)行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的諧振器是(shi)固態(tai)裝配諧振器(SMR)。在一(yi)個實施例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成,PZ層18由氮化鋁(lv)(AlN)制(zhi)成。或者,也可(ke)以使用其(qi)他(ta)的壓電材料來制(zhi)作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)高性能射(she)頻濾(lv)波器(qi):體聲(sheng)波濾(lv)波器(qi)BAW第2頁/共6頁<上一頁下這(zhe)種類型的(de)BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結(jie)構的(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型(xing)的BAW被稱為固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性而言(yan),SMR比(bi)膜結構(gou)的BAW要(yao)好(hao)很多。在劃(hua)片和(he)裝配(pei)所需的各(ge)種(zhong)標準工序中,沒有機械損(sun)壞的風險。壓電層和(he)電極層上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做(zuo)成(cheng)膜(mo)結構(gou)或一并沉積到一個薄的(de)支撐膜(mo)上,形(xing)成(cheng)空氣一固(gu)體(ti)交界面;還有一種方式是采(cai)用“聲波(bo)鏡(jing)”形(xing)成(cheng)反射(she)面來實現,這種結構(gou)被稱(cheng)為“固(gu)態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛(qian)溶膠凝膠諧振器建立微型(xing)體聲波諧振器機械結構的等效電路模型(xing),運(yun)用(yong)PSPICE軟(ruan)件(jian)研究(jiu)4湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型(xing)諧振器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)可以分(fen)類(lei)為FBAR(膜體聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))型(xing)(xing)和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))型(xing)(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器件的示例為諸如FBAR(膜體聲波諧振器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振器)的薄(bo)膜諧振器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)(chang)通過(guo)電(dian)極壓電(dian)疊層(18)引入的(de)溫(wen)(wen)度(du)感應(ying)效應(ying)的(de)鐵磁補償(chang)(chang)器(20;120;和220)。該補償(chang)(chang)器具有正頻率溫(wen)(wen)度(du)系數(shu),而疊層具有負。
BAW_百度文庫
包(bao)(bao)含這些壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的(de)濾波器也(ye)受到(dao)關注。[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的(de)例子(zi)包(bao)(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電薄(bo)膜(mo)諧振器(qi)分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜(mo)腔(qiang)聲諧振器(qi))和SMR(固態裝配諧振器(qi))。FBAR包(bao)括層(ceng)疊在諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電極(ji)膜(mo)、壓電膜(mo)和下電極(ji)膜(mo)的(de)層(ceng)疊結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這(zhe)些(xie)壓電(dian)薄膜諧(xie)(xie)振器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到關注。壓電(dian)薄膜諧(xie)(xie)振器(qi)的例子包括FBAR(薄膜腔聲諧(xie)(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外(wai)值得一提的是(shi),德國(guo)的Infneon公司在2003年推出了具(ju)有布(bu)拉格反射層結構的固(gu)貼式(又(you)稱(cheng)固(gu)態裝配型)薄膜體(ti)聲波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態引(yin)信諧振器是電子安全系統(tong)的重要組(zu)成部分之(zhi)一,它(ta)能在后坐加速度和旋轉離心力(li)的作用下向(xiang)前運動,使限(xian)位保險處于(yu)鎖定狀(zhuang)態,從而(er)使引(yin)信處于(yu)待發狀(zhuang)態。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波平面振蕩器(qi)(qi)基片(pian)集(ji)(ji)成波導相位(wei)噪(zao)聲雙端(duan)口壓控振蕩器(qi)(qi)注入鎖定諧(xie)波振蕩器(qi)(qi)毫(hao)米波平面振蕩器(qi)(qi)是毫(hao)米波平面集(ji)(ji)成系統ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括少部分(fen)地補(bu)償通過電(dian)極(ji)壓(ya)電(dian)疊層(18)引入的溫度感應效應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關(guan)鍵詞:微波濾(lv)波器(qi)時域有限差分法階梯阻抗諧(xie)振器(qi)橢圓函數濾(lv)波器(qi)多層6湯亮(liang);郝震(zhen)宏;喬東海(hai);汪承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧(xie)振器(qi)(SMR)的模擬分析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧(xie)振(zhen)器的工作頻(pin)率高(gao)、功率容量大(da)、損耗低、體積(ji)小,是目前有望(wang)第三種為(wei)本研究采用反射層聲(sheng)學隔(ge)離固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態(tai)裝配(pei)型(xing)諧(xie)振器(SMR)方面,論文(wen)采用上述模型(xing)分(fen)析了(le)四分(fen)之(zhi)一(yi)波長布拉格反(fan)射(she)柵(zha)對其諧(xie)振特(te)性的影響,得到了(le)SMR器件獲得理想性能所需(xu)的少反(fan)射(she)柵(zha)對數;另外,考慮到實(shi)際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成(cheng)的諧振器(qi)是(shi)固(gu)態(tai)裝配諧振器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施(shi)例中(zhong),襯(chen)底12由硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字報(bao)利用無線傳(chuan)感器網(wang)絡實現(xian)運(yun)動聲(sheng)源的(de)定位與跟蹤錄取,報(bao)告用相(xiang)對運(yun)動幾何(he)求解BOT問題(ti)ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的(de)模擬分析PGC解調光纖傳(chuan)聲(sheng)器技術的(de)討論(lun)一種單(dan)。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)(shang)述壓(ya)電(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括(kuo)層疊在諸(zhu)如硅或玻(bo)璃的基板上(shang)(shang)的上(shang)(shang)電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)(dian)膜(mo)(mo)和下電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)的層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄(bo)膜(mo)諧振器可分成(cheng)FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體聲波諧振器)型(xing)和SMR(固態(tai)裝配諧振器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合(he)型諧振(zhen)(zhen)無源(yuan)諧振(zhen)(zhen)結構,其可以在制造過程中(zhong)被集成于車輛地面(mian)連(lian)接(jie)裝置HBAR“高模(mo)薄膜體聲波(bo)諧振(zhen)(zhen)器”),或者帶有(you)布拉格(ge)反射鏡(SMR“固態裝配型諧振(zhen)(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型(xing)諧(xie)(xie)振無源(yuan)諧(xie)(xie)振結構(gou),其可以在制造過程(cheng)中被集(ji)成于(yu)車輛地(di)面連接裝置HBAR"高模薄膜體聲波諧(xie)(xie)振器"),或者(zhe)帶有布(bu)拉(la)格反射鏡(SMR"固態(tai)裝配型(xing)諧(xie)(xie)振器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓(ya)電薄膜諧(xie)振器(qi)包括FBAR型和SMR型,其(qi)中FBAR是(shi)薄膜體聲(sheng)波諧(xie)振器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫(xie),以及SMR是(shi)固態安(an)裝諧(xie)振器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日(ri)-將(jiang)上述(shu)壓電薄膜(mo)諧振(zhen)(zhen)器分(fen)為兩種類型(xing),FBAR(薄膜(mo)腔聲(sheng)諧振(zhen)(zhen)器)和SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊(kuai)體聲波諧(xie)振器(qi))型和SMR(固(gu)態(tai)裝配諧(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有(you)由(you)上部電(dian)極(ji)、壓電(dian)膜(mo)和下部電(dian)極(ji)構(gou)成(cheng)的。