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化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
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本實用新(xin)型(xing)涉及一種化學機(ji)械(xie)研磨(mo)設(she)備,包括:研磨(mo)臺(tai)支(zhi)架;少兩個研磨(mo)臺(tai),由下上(shang)分層設(she)置(zhi)(zhi)(zhi)于所述研磨(mo)臺(tai)支(zhi)架中(zhong),每一所述研磨(mo)臺(tai)上(shang)表面設(she)置(zhi)(zhi)(zhi)有研磨(mo)墊,下表面設(she)置(zhi)(zhi)(zhi)有支(zhi)撐。
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2012年(nian)1月18日-什么是研磨加(jia)工?發布(bu)時間:2013-01-18來源:機械專(zhuan)家網(wang)利(li)用涂敷或(huo)壓(ya)嵌在研具(ju)(ju)上的磨料(liao)顆粒,通(tong)過研具(ju)(ju)與工件在一定壓(ya)力。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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