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太(tai)陽能(neng)硅片切(qie)割液(ye)廢砂(sha)漿是(shi)切(qie)割液(ye)(PEG)和(he)砂(sha)漿的(de)混合物(wu),目前主要依靠(kao)離心和(he)沉降(jiang)兩(liang)種回收技術,對(dui)廢砂(sha)漿進行(xing)處(chu)理,回收其(qi)中(zhong)的(de)切(qie)割液(ye)和(he)碳化硅微粉,返(fan)回到太(tai)陽能(neng)線切(qie)割機。
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碳化硅微粉應用新領域——半導體線切割-《佛山陶瓷》2005年02期
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