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2013年3月19日-1032CN200910020810.2一種碳(tan)化硅基增強(qiang)復(fu)合陶瓷及制備方(fang)法(fa)1033CN200810237334.5一種碳(tan)化硅匣缽磚生產(chan)工藝1034CN200710304217.1一種用于(yu)微電子(zi)機械系(xi)統的碳(tan)化硅。
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