鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電(dian)極(ji)研磨工藝機械化焊接電(dian)極(ji)頭表(biao)面粗糙度焊接工藝研磨機幾何形狀研磨砂(sha)輪(lun)焊縫質(zhi)量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一(yi)種減(jian)少(shao)鎢化學機械(xie)研磨微(wei)刮痕的工藝(yi),提(ti)供一(yi)半導體(ti)基底,其制作鎢插塞的主要(yao)步驟(zou)有光(guang)阻涂布、微(wei)影(ying),蝕刻。
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2013年6月22日-鞏(gong)義(yi)市佛瑞機械(xie)廠是專業生產鎢礦選礦設備(bei)的廠家[供]鎢礦石的浮選工藝流程,選鎢礦設備(bei)價(jia)格(ge),[供]專業生產螺旋(xuan)式振動研(yan)磨機10/14[供。
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黝圖1-6銅化(hua)學機械拋光工藝流程(cheng)圖1-7雙嵌入形成鎢插塞(sai)和(he)局部互(hu)連1.3鎢鑲嵌圖3—2拋光速(su)(su)率,均勻性和(he)研磨臺轉速(su)(su)的依存性(32藝條件(jian)拋光頭(tou)壓力-250hap;。
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且所(suo)述鎢(wu)(wu)栓接(jie)觸(chu)孔或(huo)通孔的近圓度有一定提高,并增(zeng)大(da)了后續(xu)光刻工藝窗口,增(zeng)大(da)后續(xu)工藝的穩(wen)定度;所(suo)述改(gai)善鎢(wu)(wu)栓化學機械(xie)研磨(mo)(mo)表(biao)現的方法不僅提高金屬鎢(wu)(wu)沉(chen)積填充層研磨(mo)(mo)的。
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一種改(gai)善接觸孔(kong)之鎢化(hua)學機(ji)械(xie)研磨(mo)后平坦性的(de)方法,包括:步驟(zou)S1:在硅基襯(chen)底上制(zhi)備前道器件和絕緣(yuan)介質層;步驟(zou)S2:在接觸絕緣(yuan)介質層上淀積對鎢金屬具有高研磨(mo)選擇比的(de)。
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多(duo)采用(yong)三級跳汰(tai)、多(duo)級床選(xuan)(xuan)、跳尾(wei)再(zai)磨,搖(yao)床中礦(kuang)掃(sao)選(xuan)(xuan)的(de)貧富分選(xuan)(xuan)或合(he)選(xuan)(xuan)的(de)工藝(yi)流(liu)程。該流(liu)程適應鎢礦(kuang)石的(de)特點(dian),避免(mian)了(le)(le)過粉碎,強化了(le)(le)粗選(xuan)(xuan)段。鄭州華昌機械制造有限。
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