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鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期

2004年9月23日(ri)-鎢(wu)電(dian)極研(yan)磨(mo)(mo)工(gong)藝機(ji)械(xie)化焊接電(dian)極頭表(biao)面粗糙(cao)度焊接工(gong)藝研(yan)磨(mo)(mo)機(ji)幾何形狀研(yan)磨(mo)(mo)砂輪(lun)焊縫(feng)質(zhi)量。

一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼

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一種改善接觸孔之鎢(wu)(wu)化學(xue)機械研磨(mo)后(hou)平坦(tan)性的(de)方法,包(bao)括(kuo):步(bu)驟S1:在硅(gui)基襯底上(shang)制備(bei)前道(dao)器件和絕緣介(jie)質層(ceng)(ceng);步(bu)驟S2:在接觸絕緣介(jie)質層(ceng)(ceng)上(shang)淀(dian)積(ji)對鎢(wu)(wu)金屬具(ju)有高研磨(mo)選擇比的(de)。

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