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2008年10月(yue)17日-改良(liang)西門子工藝法生產(chan)多(duo)晶硅(gui)所(suo)用設備(bei)主(zhu)要有:氯(lv)化氫合成爐,三氯(lv)氫硅(gui)沸騰床把工業(ye)硅(gui)粉碎(sui)并用無水氯(lv)化氫(HCl)與之反(fan)應在一(yi)個流化床反(fan)應器中(zhong),生成。

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